随着半导体行业的快速扩张和技术进步,水资源需求显著上升,迫切要求企业优化水资源管理,提升用水效率。实施高效的废水管理和推动回用水技术的研发,成为企业实现成本节约、效率提升以及应对水资源短缺挑战的关键策略。高频科技作为一家致力于为客户提供领先的超纯水制备与循环使用方案的科技企业,凭借先进的废水处理及回用水技术,帮助半导体厂商探索节水新路径,增强可持续发展动力。

半导体水循环势在必行,回用水技术门槛高

半导体行业用水量巨大,且会随着芯片先进程度的提升而大幅增加耗水量。在月产能4万片的200mm晶圆厂,日用水量通常介于8000至10000吨,其中70%用于生产超纯水。而当工艺进步到16nm和7nm时,同等产能的12英寸晶圆厂日用水量则增至约20000吨。据权威金融机构标准普尔全球评级报告显示,在产能扩张和先进工艺技术需求的推动下全球半导体行业用水量正以每年中高个位数增长。

在这一背景下,通过先进的水循环再生方案,提升废水的回收利用水平显得尤为重要。然而,半导体废水成分复杂,处理难度大,对相关技术的研发与应用提出了极高的要求。与掌握专业技术的供应商合作,成为解决这一难题的明智之举。

电子级废水处理及回收水技术,助力企业节水增效

高频科技电子级废水处理技术,正是针对半导体制造过程中产生的复杂废水而设计。该技术能够依据废水中杂质的特性,采用针对性的工艺进行高效、经济的处理。通过多级化学混凝沉淀、氨氮吹脱、生物处理等先进工艺的结合,能够有效地应对污染物繁多、性质复杂的芯片废水,实现深度去除污染物,确保废水处理后的水质达到高标准。公司已具备处理超过15种芯片废水的能力,涵盖了先进制程产线可能产生的所有废水种类,处理效率高且运行成本低。

此外,高频科技基于对半导体制程工艺的深刻理解,依托前瞻性的工厂用水规划能力,精心规划整厂用水平衡,并构建了完善的排水系统,能够对超过30种制程机台产生的废水进行科学分流与高效回用,包括但不限于如纯水再生浓水回收、低浓度氢氟酸废水回收、研磨废水回收、酸/碱废水回收、洗涤塔废水回收等,通过匹配合适的设备与工艺确保了高效的废水处理与资源回收效率。当前,高频科技项目水平衡可实现整厂用水的制备回收率高达90%,在确保水质达标的基础上,显著降低了企业的水资源成本,并有效预防了水资源短缺对生产造成影响。

半导体研究机构Knometa Research则预计,到2026年,中国大陆的IC晶圆厂产能将激增至全球第一,具有里程碑意义。在我国半导体行业快速扩张的背景下,半导体废水合理处理和回收利用,是企业降低水资源消耗、减少生产成本的重要途径,也是产业可持续高质量发展的必由之路。作为聚焦于芯片制造等电子核心产业的超纯水系统供应商,高频科技将围绕超纯工艺技术不断研发创新,致力于为客户提供领先的超纯水制备与循环使用方案,在满足工艺用水超纯要求的同时,实现水资源可持续发展。

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